痕量氣體分析器（Trace gas analyzer）

    PDHID氦離子化檢測器在線敏感檢測
    適用于氣體工業(yè)，稀有氣體，半導體氣體的領域進行痕量雜質分析的自動化儀器
    是生產線質量控制和*的檢測儀器
    可任意配選，以適用于多種應用場合
    根據用戶需要可提供所需的數據采集和數據輸出的方式
    采用了*的Valco閥、管路系統(tǒng)和檢測器

 
可選件

    用戶自選的數字或模擬輸出
    按照用戶需要，提供進樣系統(tǒng)和校準系統(tǒng)
    擴展應用所需部件
    電子流量測量和認證
    痕量濕度檢測
    集成的架裝組件
    特殊合金結構或者Sulfinert® 或Silcosteel®鈍化系統(tǒng)
    用戶自定義的報警系統(tǒng)
    自動標定和認證校準
    遙控附件

 

儀器的報價中含有終身的。包括了對應用適應性的確認，文件，現場安裝和培訓。一旦儀器安裝完畢，就可以方便地通過和遙控信息的的。
VICI 的TGA痕量氣體分析器是一種即裝即用的在線分析儀表，硬件軟件齊全，可立即用于分析ppb級各種痕量氣體雜質。每臺儀器都可以按照用戶的具體技術要求，用標準的VICI部件配以分析方法，操作條件和程序文件，組成用戶所需要的全套儀器。
所有的VICI TGS的標準應用方式是檢測氦中的雜質，同時也可以組合成檢測單元和多元氣體中的雜質。取樣系統(tǒng)和工業(yè)級CPU可以裝入儀表架，也可以自成獨立系統(tǒng)（如圖）。標準的設置包括通過OPCserver軟件和自動日常維護程序的數據共享。
 
定型產品
可以選擇下列配置完整的定型產品

    測量氫氣中的PPB級含硫氣體
    測量CO2中PPB級含硫氣體
    測量常用氣（He, H2, Ar, O2, N2, CH4, C2H6, NH3, CO2, CO）中的雜質
    測量稀有氣體（He, Ne, Kr, Xe, Rn）中的雜質
    測量半導體氣體H2, SiH4, SiF4, HBr, CF4, CCl4, NF3, C2F6, C3F8, N2O, C2H2, C2H6, C3H4, PH3, AsH3, SF6, NH3 中的雜質